리소(리소그라피) 공정, 포토레지스트(Photoresist)
출처 1) 들어가며 리소(litho)공정은 photolithography 공정을 줄여서 현장에서 부르는 표현입니다. 따라서, 인터넷 검색시 리소공정으로 찾으면 잘 찾기 힘듭니다. 차라리 포토 공정, 사진 공정으로 찾으면 자료를 찾을수 있을 겁니다. 2) 뜻 그래픽 이미지를 가진 마스크 패턴을 감광물질(Photoresist)위에 형성하는 3) 개략적인 공정 방법 사진석판(reticle)에 패턴을 그려 넣습니다. 이러한 패턴이 형성된 사진 석판을 광원 앞에 장착하고 빛을 조사하면, 기판 위에 코팅한 감광물질이 반응을 하게 됩니다. (expose; 노광) 반응한 감광물질을 용액으로 제거하면 빛을 받지않은 감광물질이 패턴으로 남게됩니다. (develop; 현상) 이렇게 남은 패턴을 이용하여 기판을 식각하기도 하..
기술자료
2010. 4. 19. 19:50